半导体检测-无图晶圆缺陷检测设备
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无图晶圆缺陷检测是中科慧远视觉技术有限公司最新开发的晶元缺陷与表面质量检测系统。实现亚微米级分辨率,能很好的检测超光滑晶表面的抛光痕迹、晶本凹坑、凸起、空隙、或其他破坏晶体管电气完整性的缺陷。

高分辨率、大视场的兼容,在
数十毫米级视场下实现亚微
米级别的缺陷识别
缺陷实时、直观显示,
更容易掌握缺陷整体形态、
定位缺陷位置
灵活、适用性强,
可根据 需求定制自动化
检测功能
小巧、易用,安装维护方
便,操作简单易上手
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