典 型 案 例
智能制造
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典型案例
 
大口径光学元件检测仪



主要功能:

该系统能够对各类光学元件表面快速、准确的检测出损伤与污染情况。系统搭载明、暗场两套成像系统,能够对光学元件表面进行不同精度的分析,软件功能极其丰富,能够对损伤图像进行多功能分析,并生成损伤报表与损伤分布图。

主要指标参数:

检测对象尺寸:<1000×500mm
单块单点测试分辨率:暗场:9.5μm;明场: 0.85μm
扫描时间:<6min
图像处理:明暗场图像自动搜索叠加,历史图像相减,检测报告生成,图像具有区域选择、缩放、拼接、直方图处理与均衡、灰度拉伸及压缩、保存能力,其中拼接图像与光学元件误差小于5%
缺陷标定:具有缺陷分割、识别、标识、大小定量识别能力,标定误差小于10%
扫描路径规划:指定若干个点,自动规划扫描路径。
洁净度:满足洁净100级条件下使用要求,不带来污染


 
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